广泛应用于多个高科技领域,包括平板显示(如LCD、OLED、QLED)、触摸屏、薄膜太阳能电池(OPV、钙钛矿)、IC先进封装(FOWLP、FOPLP)、氢能源电池、传感器、柔性及印刷电子,以及智能玻璃等。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 外形尺寸 | 5000mmx3500mmx2800mm |
| 总重 | 约100000kg |
| 适用基板尺寸 | 1200mmx2400mm |
| 适用基板厚度 | 2-4mm |
| 有效涂布宽幅 | 2400mm |
| 片内膜厚均匀性 | ≤5% |
| 片间膜厚均匀性 | ≤5% |
| 生产节拍 | ≤70s |
| 设备稼动率 | 95%以上 |
| 适配药液黏度 | 1-100cp |
▲基板尺寸(可定制):1200*600、2400*1200、600*1200、1200*2400(单位mm)
▲节拍周期:标准为60s(可做到50s以内)取决于基片尺寸及自动化程度
▲基片装载及卸载:兼容手动与全自动两种操作模式
▲涂布均匀性:≤4%
▲适用药液粘度:标准1-50cp,使用高粘度泵则可达10000cp
▲涂膜厚度范围:20nm-10um(干膜状态取决于材料性质以及系统参数设置)
广泛应用于多个高科技领域,包括平板显示(如LCD、OLED、QLED)、触摸屏、薄膜太阳能电池(OPV、钙钛矿)、IC先进封装(FOWLP、FOPLP)、氢能源电池、传感器、柔性及印刷电子,以及智能玻璃等。